Ayaş-Beypazarı yolunun 34. km.’sinden, güneydoğu yönünde sola ayrılan yolun 5. km.’sindedir. Su kaynaklarından kaplıca ve içme olarak yararlanılmaktadır. Su sıcaklığı 31-52°C, kaynak akım değeri 6 lt/sn’dir. Banyo kapasitesi 2468 kişi/gündür. Kaplıca suyu; klorürlü, sulfatlı, sodyumlu, kalsiyumlu, karbondioksitli bir bileşime sahiptir. Termal su ile banyo tedavisi yanısıra çamur tedavisi de yapılmaktadır. İçme kürlerine de elverişli olan bu suların; romatizma, deri hastalıkları, kadın hastalıkları, sinir ve sindirim sistemi hastalıkları, böbrek ve idrar yolları ve metabolizma bozukluklarının tedavisinde olumlu etkileri görülmektedir. Ayrıca içme olarak karaciğer, safrakesesi ve pankreas üzerinde etkili olmaktadır.
Ankara’ya 58 km. uzaklıktaki Ayaş ilçesinde ve karayolu üzerinde bulunan Karakaya Termal Kaynağı’nın çıktığı yerde Selçuklular döneminden günümüze kalan tarihi bir hamamdır. Kaplıca suyunun sıcaklık derecesi 31°C, kaynak akım değeri 4.8 lt/sn, radyoaktivitesi 22 ş/Avp’dir. Kimyasal bileşimi bikarbonatlı, sodyumlu, kalsiyumlu ve karbondioksitlidir. Tarihi kaplıca hamamında dört özel banyo ve iki havuz bulunmaktadır. Ayrıca mide, bağırsak, karaciğer, safrakesesi ve metabolizma rahatsızlıkları olan hastalar dışarıya yapılmış çeşmelerden çeşme olarak yararlanmaktadır. Kaplıca suyu; felç ve mafsal rahatsızlıkları, kadın hastalıkları, romatizma, nevrajlı ve nevrasteni gibi hastalıklara iyi gelmektedir.
Ankara’ya 80 km., Ayaş’a 23 km. mesafede, anayoldan 5 km. ileride, Ilıca vadisi tabanında yer almaktadır. Şifalı sularının işletmeciliği bir şirket tarafından yapılmaktadır. Şirket işletmesine bağlı otel ve motellerin toplam 1000 yatak kapasitesi vardır. Tedavi amacıyla kullanılan kaplıca; otellerin dışında halka açık iki havuzu, dört özel banyosu, içme tesisleri ve Fizik Tedavi Enstitüsünün yanında lokantası, gazinosu ve diğer yardımcı üniteleri ile komple bir tesistir. Sıcaklık derecesi 51°C, debisi 15 lt/sn, toplam mineraliz. 410 mg/lt, radyoaktivitesi 38 ş/Avp’dir. Rezervasyon için Ayaş Kaplıca ve İçmelerine başvurulabilir.
Kaplıca ve içmeler; romatizma, nevralji, kadın hastalıkları, safra kesesi taşları ve böbrek kumlarının düşürülmesinde yardımcı olmaktadır.